• 硅外延材料技术规范
  • 发布时间:2014-9-6 10:42:02 来源:国芯网
  • 序号
    特征
    参数
    测试方法
    1
    外延层掺杂剂
    Boron, Phosphorus, Arsenic
     
    2
    外延层晶向
    <100>, <111>
     
    3
    外延层电阻率
    外延炉
    直径
    类型
    外延片电阻率
    均匀性
    ASTM  F723  F1392
    批式
    100mm
    125mm
    150mm
    200mm
    P/P++; N/N+
    N/N++,N/N+/N++
    N/P/P;  P/N/N+
    0.004(B:0.01)-3 Ω.cm
    ≤±3%
    3-30  Ω.cm
    ≤±5%
    >30  Ω.cm
    ≤±6%
    单片
    150mm
    200mm
    P/P++;  N/N++
    N/N+/N++
    0.3-3  Ω.cm
    ≤±2%
    3-30  Ω.cm
    ≤±3%
    4
    外延层厚度
    外延炉
    直径
    类型
    外延片厚度
    均匀性
    ASTM F95
    批式
    100mm
    125mm
    150mm
    200mm
    P/P++;  N/N+
    N/N++, N/N+/N++
    N/P/P;   P/N/N+
    3-100μm
    ≤±3%
    单片
    150mm
    200mm
    P/P++;N/N++
    N/N+/N++
    0.1-20μm
    ≤±1%
    5
    堆垛层错密度性
    ≤10/cm2
    ASTM F1810
    6
    滑移线
    ≤5条,总长度<1/2圆片直径
    ASTM F1725 F1726
    7
    雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾污
    ASTM F523
    8
    冠状边缘
    表面上凸起物高度不超过1/3延层厚度
     
    9
    点缺陷
    SEMI标准
    ASTM F523
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